电子气体介绍

电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长。

电子气体，多采用集中式供应，可分为大宗气体，包括氮气、氢气、氩气、氦气、氧气、二氧化碳等；电子特种气体，包括笑气、氨气、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氢、八氟环丁烷、甲烷等气体。

半导体工业用的气体统称电子气。电子气体按其门类可分为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。

通常半导体生产行业，将气体划分成常用气体和特殊气体两类。其中，常用气体指集中供给而且使用非常 多的气体，比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。特种气体指半导体生产环节中，比如延伸、离子注进、掺和、洗涤、 遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体，也就是气体类别中的电子气体，比如高纯度的 SiH4、PH3、AsH3、B2H6、 N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2等，在 IC 生产环节中，使用的电子气体有差不多有 100 多种， 核心工段常见的在 30 种左右。正是这些气体通过不同的制程使硅片具有半导体性能，它又决定了集成电路的性 能、集成度、成品率，即使是某一种某一个特定杂质超标，都将导致质量严重缺陷，严重时会因不合格气体的 扩散，导致整个生产线被污染，乃至全面瘫痪。因此，电子气体是制造过程基础关键材料，是名副其实的电子工业“血液”。

电子气体应用列举：

1、电子气体系统技术应用

在目前工艺技术较为先进的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过道，其中大约要使用种不同种类的电子气体。电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求，在充分保证工艺和产品安全使用的前提下，将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。

2、氨气在电子行业的应用

氨气是由氮氢组成的化合物。它是一种无色水溶性气体，具有特殊的刺激性气味。大部分的氨气用于生产肥料，也是几乎所有含氮化合物的前身。高纯度特气在LED生产中的作用至关重要。超纯氨是用于保证生产最高质量的LED元器件。这是因为氧气含有水汽分子，即使微量存在，也能极大地减少光能输出。

3、硅烷的应用

硅烷，硅与氢的化合物，易自燃、爆炸，是一种高危险性气体。目前广泛应用于微电子、光电子工业， 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层等。此外，它还用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等高科技应用。

4、笑气在电子行业的应用

笑气，即一氧化二氮，无色有甜味气体，是一种氧化剂，在电子行业和食品饮料中被广泛应用，甚至在一些电子产品的开发中起着至关重要的作用。要想实现电视、手机以及电脑显示屏更高的分辨率和帧速率，笑气在下一代超高清3DTFT-LCD（薄膜晶体管液晶）显示屏和OLED（发光二极管）显示屏的低成本开发中至关重要。

未经允许不得转载：上海申中气体有限公司 » 电子气体介绍