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zhaods 发布于 2024-09-14

电子行业工业用的气体统称电子气。电子气体按其门类可分为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLS...

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zhaods 发布于 2023-12-19

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