上海申中气体有限公司氩气在半导体制造领域有什么作用
1zhaods 发布于 2026-01-30
在半导体行业中，氩气主要用于作为保护气体防止氧化，以及作为等离子气体参与蚀刻和沉积反应。具体来说，氩气可用于光刻过程中的清洗和干燥，确保芯片表面无尘；在芯片制造中作为载体推动原料气体，保证化学反应稳定；此外，氩气还用于制备超纯水及作为屏蔽气体保护精密设备。这些用途使得氩气在半导体...
阅读(94)评论(0)赞 (0)
zhaods 发布于 2026-01-30
在半导体行业中，氩气主要用于作为保护气体防止氧化，以及作为等离子气体参与蚀刻和沉积反应。具体来说，氩气可用于光刻过程中的清洗和干燥，确保芯片表面无尘；在芯片制造中作为载体推动原料气体，保证化学反应稳定；此外，氩气还用于制备超纯水及作为屏蔽气体保护精密设备。这些用途使得氩气在半导体...
阅读(94)评论(0)赞 (0)
