氩气在半导体制造领域有什么作用
1zhaods 发布于 2026-01-30
在半导体行业中,氩气主要用于作为保护气体防止氧化,以及作为等离子气体参与蚀刻和沉积反应。具体来说,氩气可用于光刻过程中的清洗和干燥,确保芯片表面无尘;在芯片制造中作为载体推动原料气体,保证化学反应稳定;此外,氩气还用于制备超纯水及作为屏蔽气体保护精密设备。这些用途使得氩气在半导体...
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zhaods 发布于 2026-01-30
在半导体行业中,氩气主要用于作为保护气体防止氧化,以及作为等离子气体参与蚀刻和沉积反应。具体来说,氩气可用于光刻过程中的清洗和干燥,确保芯片表面无尘;在芯片制造中作为载体推动原料气体,保证化学反应稳定;此外,氩气还用于制备超纯水及作为屏蔽气体保护精密设备。这些用途使得氩气在半导体...
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zhaods 发布于 2026-01-28
工业中,把常温常压下呈气态的产品统称为工业气体产品。工业气体是现代工业的基础原料,其广泛应用于集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏、医疗健康、节能环保、新材料、新能源、高端装备制造、食品、冶金、化工、机械制造等新兴行业及国民经济的基础行业,对国民经济的发展有着战略性的支持作...
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