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氩气

半导体行业使用氩气有什么作用

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zhaods 发布于 2025-10-15

在半导体行业中,氩气(Ar)作为一种关键工业气体,因其独特的物理和化学性质,在多个制造环节中发挥着不可替代的作用。以下是氩气在半导体行业中的主要应用及作用: 1. 作为保护气体,防止氧化和污染 高温工艺保护:在半导体制造的高温工艺(如退火、扩散、外延生长)中,氩气作为惰性气体,可...

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