上海申中气体有限公司半导体行业使用氩气有什么作用
1zhaods 发布于 2025-10-15
在半导体行业中，氩气（Ar）作为一种关键工业气体，因其独特的物理和化学性质，在多个制造环节中发挥着不可替代的作用。以下是氩气在半导体行业中的主要应用及作用： 1. 作为保护气体，防止氧化和污染 高温工艺保护：在半导体制造的高温工艺（如退火、扩散、外延生长）中，氩气作为惰性气体，可...
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标签：氩电是什么意思
半导体行业中氩气的多重用途
1zhaods 发布于 2025-10-13
在半导体行业中，氩气主要用于作为保护气体防止氧化，以及作为等离子气体参与蚀刻和沉积反应。具体来说，氩气可用于光刻过程中的清洗和干燥，确保芯片表面无尘；在芯片制造中作为载体推动原料气体，保证化学反应稳定；此外，氩气还用于制备超纯水及作为屏蔽气体保护精密设备。这些用途使得氩气在半导体...
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