半导体行业中氩气的多重用途
1zhaods 发布于 2025-10-13
在半导体行业中,氩气主要用于作为保护气体防止氧化,以及作为等离子气体参与蚀刻和沉积反应。具体来说,氩气可用于光刻过程中的清洗和干燥,确保芯片表面无尘;在芯片制造中作为载体推动原料气体,保证化学反应稳定;此外,氩气还用于制备超纯水及作为屏蔽气体保护精密设备。这些用途使得氩气在半导体...
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zhaods 发布于 2025-10-13
在半导体行业中,氩气主要用于作为保护气体防止氧化,以及作为等离子气体参与蚀刻和沉积反应。具体来说,氩气可用于光刻过程中的清洗和干燥,确保芯片表面无尘;在芯片制造中作为载体推动原料气体,保证化学反应稳定;此外,氩气还用于制备超纯水及作为屏蔽气体保护精密设备。这些用途使得氩气在半导体...
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