半导体行业中氩气的多重用途
1zhaods 发布于 2025-10-13
在半导体行业中,氩气主要用于作为保护气体防止氧化,以及作为等离子气体参与蚀刻和沉积反应。具体来说,氩气可用于光刻过程中的清洗和干燥,确保芯片表面无尘;在芯片制造中作为载体推动原料气体,保证化学反应稳定;此外,氩气还用于制备超纯水及作为屏蔽气体保护精密设备。这些用途使得氩气在半导体...
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zhaods 发布于 2025-10-13
在半导体行业中,氩气主要用于作为保护气体防止氧化,以及作为等离子气体参与蚀刻和沉积反应。具体来说,氩气可用于光刻过程中的清洗和干燥,确保芯片表面无尘;在芯片制造中作为载体推动原料气体,保证化学反应稳定;此外,氩气还用于制备超纯水及作为屏蔽气体保护精密设备。这些用途使得氩气在半导体...
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zhaods 发布于 2025-10-11
实验室使用的氩气具有多种关键特点,这些特点使其成为科研、工业及精密制造领域不可或缺的保护气体和载气。以下是实验室用氩气的核心特点及详细说明: 1. 高化学惰性:稳定无反应 特点:氩气是惰性气体(稀有气体),化学性质极不活泼,几乎不与任何物质发生化学反应。 实验室意义: 保护气氛:...
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